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中国科学院半导体研究所 2008 中国科学院半导体研究所（2009年前） 666 半导体超晶格国家重点实验室 249
中科院半导体材料科学重点实验室 243 光电子研究发展中心 232 中科院半导体照明研发中心 196
光电系统实验室 154 全固态光源实验室 65 集成光电子学国家重点实验室 56
半导体集成技术工程研究中心 48 纳米光电子实验室 37 高速电路与神经网络实验室 31
半导体材料科学中心 14 光电子器件国家工程中心 9 固态光电信息技术实验室 9