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中国科学院半导体研究所 790 中国科学院半导体研究所（2009年前） 350 半导体超晶格国家重点实验室 110
光电子研究发展中心 79 中科院半导体材料科学重点实验室 69 集成光电子学国家重点实验室 44
纳米光电子实验室 43 光电系统实验室 39 半导体集成技术工程研究中心 19
全固态光源实验室 16 中科院半导体照明研发中心 9 高速电路与神经网络实验室 7
半导体人工神经网络实验室 4 半导体材料科学中心 1