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中国科学院半导体研究所 71 中国科学院半导体研究所（2009年前） 34 半导体超晶格国家重点实验室 24
中科院半导体材料科学重点实验室 8 中科院半导体照明研发中心 2 纳米光电子实验室 2
半导体集成技术工程研究中心 1