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中国科学院半导体研究所 87 中科院半导体材料科学重点实验室 62 中国科学院半导体研究所（2009年前） 14
光电子研究发展中心 5 光电子器件国家工程中心 4 集成光电子学国家重点实验室 1
半导体集成技术工程研究中心 1