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中国科学院半导体研究所 34 中科院半导体材料科学重点实验室 21 半导体超晶格国家重点实验室 5
中国科学院半导体研究所（2009年前） 4 半导体材料科学中心 1 高性能集成电路实验室 1
高速电路与神经网络实验室 1 固态光电信息技术实验室 1