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中国科学院半导体研究所 81 半导体超晶格国家重点实验室 56 中国科学院半导体研究所（2009年前） 17
光电子研究发展中心 4 高性能集成电路实验室 2 中科院半导体照明研发中心 1
半导体集成技术工程研究中心 1