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中国科学院半导体研究所 120 半导体集成技术工程研究中心 66 中国科学院半导体研究所(2009年前) 22
纳米光电子实验室 11 全固态光源实验室 6 半导体超晶格国家重点实验室 5
中科院半导体材料科学重点实验室 5 光电子研究发展中心 2 高性能集成电路实验室 2
中科院半导体照明研发中心 1