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中国科学院半导体研究所 130 半导体超晶格国家重点实验室 49 中科院半导体材料科学重点实验室 45
中国科学院半导体研究所(2009年前) 20 光电子研究发展中心 14 光电系统实验室 1
北京纳米能源与系统研究所 1