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中国科学院半导体研究所 71 中国科学院半导体研究所（2009年前） 41 光电子研究发展中心 11
中科院半导体材料科学重点实验室 8 纳米光电子实验室 7 集成光电子学国家重点实验室 3
半导体超晶格国家重点实验室 1