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中国科学院半导体研究所 58 中科院半导体材料科学重点实验室 23 中国科学院半导体研究所(2009年前) 20
半导体集成技术工程研究中心 5 光电子研究发展中心 4 半导体超晶格国家重点实验室 3
纳米光电子实验室 1 光电系统实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1