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中国科学院半导体研究所 2030 中国科学院半导体研究所（2009年前） 699 半导体超晶格国家重点实验室 437
中科院半导体材料科学重点实验室 262 光电子研究发展中心 237 中科院半导体照明研发中心 136
集成光电子学国家重点实验室 85 纳米光电子实验室 57 半导体集成技术工程研究中心 44
全固态光源实验室 18 光电子器件国家工程中心 13 固态光电信息技术实验室 12
半导体材料科学中心 8 高速电路与神经网络实验室 8 光电系统实验室 6
半导体人工神经网络实验室 4 高性能集成电路实验室 4