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中国科学院半导体研究所 149 中国科学院半导体研究所(2009年前) 129 半导体超晶格国家重点实验室 5
中科院半导体材料科学重点实验室 4 半导体集成技术工程研究中心 4 集成光电子学国家重点实验室 3
光电系统实验室 2 纳米光电子实验室 1 高性能集成电路实验室 1