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中国科学院半导体研究所 111 中国科学院半导体研究所(2009年前) 43 中科院半导体材料科学重点实验室 21
半导体集成技术工程研究中心 12 半导体材料科学中心 11 光电子研究发展中心 10
中科院半导体照明研发中心 8 集成光电子学国家重点实验室 3 光电系统实验室 2
纳米光电子实验室 1