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中国科学院半导体研究所 222 中国科学院半导体研究所（2009年前） 202 光电系统实验室 7
集成光电子学国家重点实验室 5 纳米光电子实验室 5 半导体超晶格国家重点实验室 2
中科院半导体材料科学重点实验室 1