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中国科学院半导体研究所 60 中国科学院半导体研究所(2009年前) 41 光电系统实验室 11
半导体超晶格国家重点实验室 2 集成光电子学国家重点实验室 2 纳米光电子实验室 2
高性能集成电路实验室 2