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中国科学院半导体研究所 17 中科院半导体材料科学重点实验室 6 集成光电子学国家重点实验室 5
半导体材料科学中心 3 中国科学院半导体研究所（2009年前） 1 半导体集成技术工程研究中心 1
纳米光电子实验室 1