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中国科学院半导体研究所 18 集成光电子学国家重点实验室 6 纳米光电子实验室 4
中国科学院半导体研究所（2009年前） 3 中科院半导体材料科学重点实验室 2 半导体人工神经网络实验室 2
光电子器件国家工程中心 1