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中国科学院半导体研究所 141 中国科学院半导体研究所(2009年前) 43 半导体超晶格国家重点实验室 37
中科院半导体材料科学重点实验室 32 光电子研究发展中心 12 集成光电子学国家重点实验室 8
中科院半导体照明研发中心 4 全固态光源实验室 2 固态光电信息技术实验室 2
纳米光电子实验室 1