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中国科学院半导体研究所 832 中国科学院半导体研究所（2009年前） 387 半导体超晶格国家重点实验室 122
中科院半导体材料科学重点实验室 116 光电子研究发展中心 78 集成光电子学国家重点实验室 61
中科院半导体照明研发中心 13 半导体集成技术工程研究中心 13 光电子器件国家工程中心 11
半导体材料科学中心 9 纳米光电子实验室 7 全固态光源实验室 7
固态光电信息技术实验室 3 光电系统实验室 2 高速电路与神经网络实验室 2
半导体人工神经网络实验室 1