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中国科学院半导体研究所 24 集成光电子学国家重点实验室 12 纳米光电子实验室 4
半导体超晶格国家重点实验室 2 中科院半导体材料科学重点实验室 2 半导体材料科学中心 2
光电子研究发展中心 1 半导体人工神经网络实验室 1