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中国科学院半导体研究所 190 中科院半导体材料科学重点实验室 101 中国科学院半导体研究所（2009年前） 54
纳米光电子实验室 11 光电系统实验室 8 半导体超晶格国家重点实验室 7
半导体集成技术工程研究中心 5 中科院半导体照明研发中心 4