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中国科学院半导体研究所 1451 半导体超晶格国家重点实验室 540 中科院半导体材料科学重点实验室 263
中国科学院半导体研究所（2009年前） 238 光电子研究发展中心 152 半导体集成技术工程研究中心 88
中科院半导体照明研发中心 59 集成光电子学国家重点实验室 30 北京纳米能源与系统研究所 18
固态光电信息技术实验室 17 纳米光电子实验室 13 半导体材料科学中心 11
光电子器件国家工程中心 6 半导体人工神经网络实验室 4 全固态光源实验室 3
高性能集成电路实验室 3 高速电路与神经网络实验室 3 光电系统实验室 2
表面物理国家重点实验室 1