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中国科学院半导体研究所 5993 中国科学院半导体研究所（2009年前） 1659 半导体超晶格国家重点实验室 1335
中科院半导体材料科学重点实验室 1033 光电子研究发展中心 837 中科院半导体照明研发中心 292
半导体集成技术工程研究中心 207 集成光电子学国家重点实验室 187 固态光电信息技术实验室 98
纳米光电子实验室 91 全固态光源实验室 69 光电系统实验室 57
光电子器件国家工程中心 45 北京纳米能源与系统研究所 34 半导体材料科学中心 23
高速电路与神经网络实验室 16 高性能集成电路实验室 5 半导体人工神经网络实验室 4
科半公司 2 表面物理国家重点实验室 1