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中国科学院半导体研究所 3633 半导体超晶格国家重点实验室 926 光电子研究发展中心 765
中国科学院半导体研究所（2009年前） 555 中科院半导体材料科学重点实验室 501 半导体集成技术工程研究中心 167
集成光电子学国家重点实验室 133 中科院半导体照明研发中心 113 高速电路与神经网络实验室 94
光电系统实验室 87 固态光电信息技术实验室 79 纳米光电子实验室 72
全固态光源实验室 44 北京纳米能源与系统研究所 38 光电子器件国家工程中心 25
半导体人工神经网络实验室 18 半导体材料科学中心 8 高性能集成电路实验室 7
表面物理国家重点实验室 1 科半公司 1