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中国科学院半导体研究所 1971 半导体超晶格国家重点实验室 433 光电子研究发展中心 406
中科院半导体材料科学重点实验室 353 中国科学院半导体研究所(2009年前) 239 中科院半导体照明研发中心 159
半导体集成技术工程研究中心 104 集成光电子学国家重点实验室 51 固态光电信息技术实验室 48
高速电路与神经网络实验室 39 光电系统实验室 38 纳米光电子实验室 30
全固态光源实验室 20 光电子器件国家工程中心 19 北京纳米能源与系统研究所 12
半导体材料科学中心 9 半导体人工神经网络实验室 7 高性能集成电路实验室 3
表面物理国家重点实验室 1 科半公司 1