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中国科学院半导体研究所 227 中国科学院半导体研究所（2009年前） 99 半导体超晶格国家重点实验室 43
中科院半导体材料科学重点实验室 31 集成光电子学国家重点实验室 19 光电子研究发展中心 13
全固态光源实验室 7 纳米光电子实验室 5 光电子器件国家工程中心 3
固态光电信息技术实验室 3 半导体集成技术工程研究中心 1 高性能集成电路实验室 1
光电系统实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1