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中国科学院半导体研究所 1194 半导体超晶格国家重点实验室 473 中国科学院半导体研究所（2009年前） 249
中科院半导体材料科学重点实验室 241 光电子研究发展中心 82 中科院半导体照明研发中心 60
半导体集成技术工程研究中心 35 集成光电子学国家重点实验室 16 纳米光电子实验室 16
固态光电信息技术实验室 8 全固态光源实验室 6 北京纳米能源与系统研究所 5
半导体材料科学中心 3 光电系统实验室 1