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中国科学院半导体研究所 1621 光电子研究发展中心 411 中科院半导体材料科学重点实验室 292
半导体超晶格国家重点实验室 279 中国科学院半导体研究所（2009年前） 131 半导体集成技术工程研究中心 95
中科院半导体照明研发中心 92 高速电路与神经网络实验室 59 集成光电子学国家重点实验室 56
固态光电信息技术实验室 49 纳米光电子实验室 48 光电系统实验室 28
全固态光源实验室 26 光电子器件国家工程中心 20 北京纳米能源与系统研究所 19
半导体材料科学中心 6 半导体人工神经网络实验室 5 高性能集成电路实验室 4
表面物理国家重点实验室 1 科半公司 1