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中国科学院半导体研究所 189 半导体超晶格国家重点实验室 75 中国科学院半导体研究所(2009年前) 66
中科院半导体材料科学重点实验室 24 半导体集成技术工程研究中心 9 北京纳米能源与系统研究所 5
光电子研究发展中心 4 纳米光电子实验室 3 集成光电子学国家重点实验室 1
中科院半导体照明研发中心 1 固态光电信息技术实验室 1