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中国科学院半导体研究所 117 半导体超晶格国家重点实验室 59 中国科学院半导体研究所（2009年前） 28
中科院半导体材料科学重点实验室 14 光电子研究发展中心 6 北京纳米能源与系统研究所 5
中科院半导体照明研发中心 4 集成光电子学国家重点实验室 1