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中国科学院半导体研究所 693 中国科学院半导体研究所（2009年前） 181 半导体超晶格国家重点实验室 179
光电子研究发展中心 114 中科院半导体材料科学重点实验室 61 中科院半导体照明研发中心 37
半导体集成技术工程研究中心 25 高速电路与神经网络实验室 23 光电系统实验室 18
集成光电子学国家重点实验室 17 固态光电信息技术实验室 16 纳米光电子实验室 13
半导体人工神经网络实验室 4 全固态光源实验室 3 半导体材料科学中心 2
表面物理国家重点实验室 1