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中国科学院半导体研究所 957 半导体超晶格国家重点实验室 300 光电子研究发展中心 171
中国科学院半导体研究所（2009年前） 170 中科院半导体材料科学重点实验室 148 半导体集成技术工程研究中心 40
高速电路与神经网络实验室 26 集成光电子学国家重点实验室 23 中科院半导体照明研发中心 23
纳米光电子实验室 15 光电系统实验室 13 全固态光源实验室 10
固态光电信息技术实验室 9 半导体人工神经网络实验室 3 北京纳米能源与系统研究所 3
高性能集成电路实验室 2 半导体材料科学中心 1