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中国科学院半导体研究所 559 半导体超晶格国家重点实验室 204 中科院半导体材料科学重点实验室 142
中国科学院半导体研究所（2009年前） 100 纳米光电子实验室 44 光电子研究发展中心 24
光电子器件国家工程中心 10 固态光电信息技术实验室 10 半导体集成技术工程研究中心 7
集成光电子学国家重点实验室 5 中科院半导体照明研发中心 5 半导体材料科学中心 5
光电系统实验室 2 全固态光源实验室 1