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中国科学院半导体研究所 498 半导体超晶格国家重点实验室 262 中国科学院半导体研究所（2009年前） 73
中科院半导体材料科学重点实验室 56 半导体集成技术工程研究中心 39 光电子研究发展中心 34
中科院半导体照明研发中心 8 集成光电子学国家重点实验室 7 半导体材料科学中心 5
纳米光电子实验室 5 固态光电信息技术实验室 4 光电系统实验室 2
高性能集成电路实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1 北京纳米能源与系统研究所 1