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中国科学院半导体研究所 603 中国科学院半导体研究所（2009年前） 187 半导体超晶格国家重点实验室 125
光电子研究发展中心 92 中科院半导体材料科学重点实验室 85 半导体集成技术工程研究中心 38
中科院半导体照明研发中心 29 集成光电子学国家重点实验室 14 纳米光电子实验室 8
北京纳米能源与系统研究所 6 光电子器件国家工程中心 5 半导体材料科学中心 4
固态光电信息技术实验室 4 全固态光源实验室 3 光电系统实验室 2
表面物理国家重点实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1