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中国科学院半导体研究所 1432 中国科学院半导体研究所（2009年前） 320 中科院半导体材料科学重点实验室 277
半导体超晶格国家重点实验室 248 光电子研究发展中心 212 半导体集成技术工程研究中心 94
中科院半导体照明研发中心 90 集成光电子学国家重点实验室 44 北京纳米能源与系统研究所 39
纳米光电子实验室 31 固态光电信息技术实验室 29 光电子器件国家工程中心 22
半导体材料科学中心 11 全固态光源实验室 7 光电系统实验室 7
表面物理国家重点实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1