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中国科学院半导体研究所 1173 半导体超晶格国家重点实验室 333 中科院半导体材料科学重点实验室 278
中国科学院半导体研究所（2009年前） 165 光电子研究发展中心 157 中科院半导体照明研发中心 112
半导体集成技术工程研究中心 33 集成光电子学国家重点实验室 32 纳米光电子实验室 20
全固态光源实验室 14 固态光电信息技术实验室 10 光电子器件国家工程中心 8
半导体材料科学中心 6 高速电路与神经网络实验室 3 半导体人工神经网络实验室 1
光电系统实验室 1