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中国科学院半导体研究所 558 中国科学院半导体研究所（2009年前） 179 半导体超晶格国家重点实验室 110
中科院半导体材料科学重点实验室 85 光电子研究发展中心 81 半导体集成技术工程研究中心 25
中科院半导体照明研发中心 22 光电子器件国家工程中心 13 固态光电信息技术实验室 13
纳米光电子实验室 11 集成光电子学国家重点实验室 6 北京纳米能源与系统研究所 4
全固态光源实验室 3 光电系统实验室 3 高速电路与神经网络实验室 2
半导体材料科学中心 1 半导体人工神经网络实验室 1