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中国科学院半导体研究所 163 光电子研究发展中心 86 中国科学院半导体研究所(2009年前) 33
集成光电子学国家重点实验室 20 半导体超晶格国家重点实验室 12 半导体集成技术工程研究中心 6
中科院半导体材料科学重点实验室 3 全固态光源实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1
固态光电信息技术实验室 1