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中国科学院半导体研究所 281 中国科学院半导体研究所（2009年前） 174 半导体超晶格国家重点实验室 29
光电系统实验室 20 光电子研究发展中心 17 中科院半导体材料科学重点实验室 13
半导体集成技术工程研究中心 11 集成光电子学国家重点实验室 5 中科院半导体照明研发中心 4
全固态光源实验室 3 固态光电信息技术实验室 2 光电子器件国家工程中心 1
纳米光电子实验室 1 高性能集成电路实验室 1