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中国科学院半导体研究所 285 中科院半导体材料科学重点实验室 99 集成光电子学国家重点实验室 75
半导体超晶格国家重点实验室 37 中国科学院半导体研究所（2009年前） 16 半导体人工神经网络实验室 13
半导体集成技术工程研究中心 11 光电子器件国家工程中心 10 纳米光电子实验室 9
光电系统实验室 6 半导体材料科学中心 5 中科院半导体照明研发中心 2
光电子研究发展中心 1 表面物理国家重点实验室 1