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中国科学院半导体研究所 111 集成光电子学国家重点实验室 37 中国科学院半导体研究所（2009年前） 29
中科院半导体材料科学重点实验室 10 纳米光电子实验室 9 半导体人工神经网络实验室 8
半导体超晶格国家重点实验室 5 半导体材料科学中心 4 半导体集成技术工程研究中心 4
表面物理国家重点实验室 1 光电子器件国家工程中心 1 全固态光源实验室 1
高性能集成电路实验室 1 光电系统实验室 1