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中国科学院半导体研究所 33 全固态光源实验室 12 中国科学院半导体研究所（2009年前） 6
半导体超晶格国家重点实验室 5 半导体材料科学中心 4 纳米光电子实验室 3
中科院半导体材料科学重点实验室 2 光电子器件国家工程中心 1