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中国科学院半导体研究所 27 集成光电子学国家重点实验室 9 中国科学院半导体研究所(2009年前) 6
中科院半导体材料科学重点实验室 6 光电子研究发展中心 2 半导体集成技术工程研究中心 2
半导体超晶格国家重点实验室 1 半导体材料科学中心 1