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中国科学院半导体研究所 810 半导体超晶格国家重点实验室 457 中科院半导体材料科学重点实验室 133
光电子研究发展中心 80 半导体集成技术工程研究中心 51 中科院半导体照明研发中心 23
中国科学院半导体研究所（2009年前） 16 北京纳米能源与系统研究所 13 纳米光电子实验室 12
集成光电子学国家重点实验室 7 固态光电信息技术实验室 6 光电子器件国家工程中心 3
高速电路与神经网络实验室 3 半导体材料科学中心 2 光电系统实验室 2
半导体人工神经网络实验室 1 全固态光源实验室 1 高性能集成电路实验室 1