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中国科学院半导体研究所 435 中国科学院半导体研究所（2009年前） 108 半导体超晶格国家重点实验室 108
光电子研究发展中心 63 中科院半导体材料科学重点实验室 51 集成光电子学国家重点实验室 22
半导体集成技术工程研究中心 20 纳米光电子实验室 15 中科院半导体照明研发中心 14
光电系统实验室 11 全固态光源实验室 8 固态光电信息技术实验室 8
高速电路与神经网络实验室 5 半导体材料科学中心 2