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共7条，第1-7条
中国科学院半导体研究所 54 光电子研究发展中心 22 中科院半导体材料科学重点实验室 13
半导体超晶格国家重点实验室 10 半导体集成技术工程研究中心 4 固态光电信息技术实验室 3
光电子器件国家工程中心 2