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共7条，第1-7条
中国科学院半导体研究所 17 光电子研究发展中心 9 中科院半导体材料科学重点实验室 4
半导体集成技术工程研究中心 1 纳米光电子实验室 1 光电系统实验室 1
固态光电信息技术实验室 1