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中国科学院半导体研究所 95 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) 81 | 光电子器件国家工程中心 4 |
中科院半导体材料科学重点实验室 4 | 集成光电子学国家重点实验室 2 | 半导体材料科学中心 1 |
半导体集成技术工程研究中心 1 | 全固态光源实验室 1 | 高性能集成电路实验室 1 |