SEMI OpenIR
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限定条件 ((出处:半导体学报) AND (发表日期:2004) AND (语种:中文) AND (文献类型:期刊论文) AND (专题:中国科学院半导体研究所(2009年前)))
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刘宇 2 于芳 1 王玉田 1
杨晓红 1 刘斌 1 刘媛媛 1